1，清洗介质

采用超声波清洗，一般有两类清洗剂即化学溶剂和水基清洗机。清洗介质的化学作用可以加速超声波清洗效果，超声波清洗是物理作用，两种作用相结合，以对物件进行充分、彻底的清洗。

2，功率密度

超声波的功率密度越高，空化效果越强，速度越快，清洗效果越好，但对于精密的表面光洁度甚高的物件，采用长时间的高功率密度清洗会对物件表面产生空化、腐蚀。

3，超声波频率

超声波频率越低，在液体中产生的空化越容易，产生的力度大，作用也越强，适用于工件粗、脏、初洗，频率高则超声波方向性强，适合于精细的物件清洗。

4，清洗温度

一般来说，超声波在30摄氏度~40摄氏度时的空化效果最好，清洗剂则温度越高，作用越显著，通常实际应用超声波清洗时，采用40摄氏度~60摄氏度的工作温度。